以正硅酸乙酯为前驱体、乙醇为溶剂,通过酸催化,采用溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜,通过正交实验确定最佳工艺方案,并讨论影响SiO2薄膜结构和性质的主要因素,研究了最佳配方siO2薄膜的表面形貌、光学性能和力学性能等.结果表明,影响光学性能的主要因素是正硅酸乙酯和水;影响显微硬度的主要因素是乙醇;膜层结构为非晶态;薄膜具有增透效果并可提高试样的抗弯强度.
参考文献
[1] | Bartzsch H.;Gloss D.;Bocher B.;Frach P.;Goedicke K. .Properties of SiO2 and Al2O3 films for electrical insulation applications deposited by reactive pulse magnetron sputtering[J].Surface & Coatings Technology,2003(0):774-778. |
[2] | 金桂,周继承.射频磁控溅射SiO2薄膜的制备与性能研究[J].武汉理工大学学报,2006(08):12-15. |
[3] | 范志新 .电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D].河北工业大学,2002. |
[4] | 张锐,秦丹丹,王海龙,许红亮.溶胶凝胶法制备SiO2工艺[J].郑州大学学报(工学版),2006(03):119-122. |
[5] | 孙国忠;赵家林;刘海涛.溶胶-凝胶法制备SiO2玻璃[J].化工时刊,1999(04):20. |
[6] | 郑晔,陈奇,宋鹂,李会平,侯凤珍.溶胶-凝胶法制备硼硅酸盐玻璃上减反射薄膜[J].玻璃与搪瓷,2009(02):6-9,17. |
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