对射频等离子体方法制备的类金刚石(以下简称DLC)薄膜样品进行了紫外辐照.采用电阻率、Raman光谱及红外光谱研究了紫外光(以下简称UV)辐照对DLC薄膜结构与特性的影响.Raman光谱表明:紫外光对DLC薄膜中SPC-H键的破坏作用非常明显,红外(IR)光谱结果进一步验证了这一结果.经UV辐照后,DLC薄膜的电阻率呈变小趋势,这说明薄膜被强烈氧化,最后呈现石墨化趋势.
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