表面层型半导体陶瓷电容器的开发及产业化

材料导报, 2000, 14(9): 66-68.

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基金项目: 表面层型半导体陶瓷电容器的开发及产业化项目(715-73-10)

Development and Commercial Production of Semiconductor Ceramic Capacitor of Surface Layer Type

表面层型半导体陶瓷电容器的开发成功,是我国新型元件领域中的一项高新技术及其产业化的突破.重点介绍了表面层型半导体陶瓷电容器的基本结构和原理.本项目开发创新成果:隧道式气氛烧结组合炉,还原气氛的获取,半导化及再氧化技术,工程中设计参数及氧化层厚度观察及量测技术等.

[1]	东莞宏明南方电子陶瓷有限公司 .半导体瓷片和电容器生产定型总结报告[R].,1999.
[2]	李标荣,章士瀛.半导体陶瓷电容器[J].电子元件与材料,1999(06):31-33.

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