蓝宝石衬底上增透膜的设计与制备

功能材料, 2004, 35(4): 498-500.

1.西北工业大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710072

2.西北工业大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710072

3.西北工业大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710072

4.西北工业大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710072

基金项目: 国防科技应用基础研究基金(J1500E002)

Design and preparation of antireflective films for sapphire

用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、二氧化硫及香烟气体有良好的降解作用;对大肠杆菌、金黄色葡萄糖菌有良好的去除作用.

[1]	Schmid F;Khattak C P et al.[J].SPIE,1997,3060:250-257.
[2]	Schmid F;Khattak C P .[J].SPIE,1989,1112:25-30.
[3]	Johnson L F;Moran MB .[J].SPIE,1999,3705:130-141.
[4]	王英剑,王靖,宋永香,张虹,李庆国,范正修.白宝石窗口增透膜的研究[J].中国激光,2001(08):765-768.
[5]	林永昌;卢维强.光学薄膜原理[M].北京:国防工业出版社,1990:217-237.
[6]	宋建全 .ZnS头罩增透保护膜系的设计、制备及计算机模拟[D].西北工业大学,2001.
[7]	张旭苹;陈国平 .[J].真空电子技术,1994,3:3-6.
[8]	Kawahara H;Sakai Y et al.[J].SPIE,1991,1513:198-203.
[9]	伍晓明.电子束蒸镀厚SiO2膜的工艺研究[J].光电子·激光,2001(06):569-571.

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