我国多晶硅铸锭坩埚的现状与发展

硅酸盐通报 , 2013, 32(11): 2297-2301.

我国多晶硅铸锭坩埚的现状与发展

1.国家知识产权局专利局材料工程发明审查部,北京100088

关键词：多晶硅锭 , 坩埚 , 熔融石英 , 反复使用

Current Situation and Development of the Crucibles for Multicrystalline Silicon Ingots in China

1.国家知识产权局专利局材料工程发明审查部,北京100088

Keywords： multicrystalline silicon ingot , crucible , fused silica , used repeatly

本文总结了我国多晶硅锭坩埚生产现状,指出熔融石英材质坩埚仅能一次性使用,可反复使用的坩埚是发展方向,介绍了国内外可反复使用坩埚的主要生产技术.

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