纳米多孔二氧化硅薄膜具有优良的物理化学特性和广阔的应用前景.以溶胶-凝胶法制备低折射率SiO2薄膜为例,对化学法镀膜中的溶胶制备、溶胶保存、薄膜制备等3个阶段进行了研究,利用透射电镜、红外光谱仪、原子力显微镜、椭偏仪等对溶胶和薄膜的特性进行了检测,并对其制备过程进行了控制,这对制备性能良好的薄膜材料及其产业化应用具有一定的指导意义.
参考文献
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