超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

功能材料, 2004, 35(z1): 2178-2182.

1.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031

2.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031

3.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031

4.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031

5.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031

6.西南交通大学,材料先进技术教育部重点实验室,四川省人工器官重点实验室,四川,成都,610031

基金项目: 国家自然科学基金(30270392) 四川省应用基础研究计划(03JY029-062-1)

Investigation of super-hard DLC multilayer thick films

采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

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