柔性基底上直流磁控溅射沉积金属铝膜的研究

表面技术 , 2013, 42(1): 67-70.

柔性基底上直流磁控溅射沉积金属铝膜的研究

江强 ^1, , 武晓南 ^2, , 周细应 ^3, , 言智 ^4, , 毛秀娟 ^5, , 李明 ^6,

1.上海工程技术大学材料工程学院,上海201620

2.上海工程技术大学材料工程学院,上海201620

3.上海工程技术大学材料工程学院,上海201620

4.上海工程技术大学材料工程学院,上海201620

5.上海工程技术大学材料工程学院,上海201620

6.上海工程技术大学材料工程学院,上海201620

基金项目: 上海市教委大学生创新实践计划项目(CX1121009) 上海工程技术大学研究生科研创新项目(2011yjs18) 上海高校一流学科建设计划(YLJX12-2) 上海市教委科技发展基金(11CXY57)

关键词：磁控溅射 , 柔性基底 , 铝膜

Research on Al Thin Films Deposited on the Flexible Base Materials

采用直流磁控溅射法在棉布、涤纶、芳纶织物上制备金属铝膜,研究了铝膜的沉积速率、组织结构和表面形貌.结果表明:在一定的范围内,沉积速率随溅射功率的增大近似呈线性增加,随溅射气压的增加先升后降；基底材料对铝膜的组织结构有较大影响,在涤纶和棉布上沉积的铝膜才呈现出典型的多晶态面心立方结构,在芳纶和涤纶上获得的铝膜较棉布上的铝膜更为均匀、致密；在一定范围内,溅射功率的增大有助于提高铝膜质量.

参考文献

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