新型酞菁有机半导体材料的制备及气敏性研究

材料科学与工艺, 2011, 19(2): 108-112.

新型酞菁有机半导体材料的制备及气敏性研究

李赞 ^1, , 吴晓宏 ^2, , 姜文锐 ^3, , 施云波 ^4,

1.哈尔滨工业大学,理学院,哈尔滨150001;哈尔滨学院,生命科学与化学学院,哈尔滨150086

2.哈尔滨工业大学,理学院,哈尔滨150001

3.哈尔滨工业大学,机电工程学院,哈尔滨150001

4.哈尔滨理工大学,测控技术与通讯工程学院,哈尔滨150080

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(60772019) 中国博士后科学基金面上资助项目(20080440839) 哈尔滨学院青年基金资助项目(HXKQ200723)

关键词：有机半导体 , 气敏材料 , NO2

Preparation and gas sensitivity study of new phthalocyanine organic semiconductor materials

针对无机半导体气体传感器材料可修饰性差、工作温度高等缺点,开展了新型金属酞菁类有机半导体气敏材料的研究,并对敏感材料进行了表征,测试结果与化学结构和理论值一致.采用微电子工艺制备平面叉指电极,采用旋涂技术,在叉指电极上形成敏感膜,对制备的旋涂膜进行红外光谱(IR)和原子力扫描电镜(AFM)表征,AFM图像表明薄膜表面均匀、平滑和致密.按照静态法测试了薄膜对NO2气体的气敏特性,结果表明,在室温和50℃时质量浓度为6.5 mg/mL的PbPc(iso-PeO)8旋涂膜相较于CuPc(iso-PeO)8、NiPc(iso-PeO)8旋涂膜表现出对NO2气体更好的敏感性和响应恢复性.

参考文献

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