降低表面粗糙度是改善金刚石涂层刀具使用性能的有效手段.采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜,通过在沉积过程中调整工艺参数,先后在硬质合金基体上沉积了2层不同的金刚石薄膜.研究了基体位置、甲烷浓度等对薄膜表面形貌的影响.用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和压痕法对样品进行了分析测试,结果表明,该方法在保证金刚石涂层质量的同时有效降低了薄膜表面的粗糙度,表面粗糙度值Ra＜0.2 μm.
参考文献
| [1] | 周健.微波等离子体化学气相沉积金刚石膜[M].北京:中国建筑工业出版社,2002 |
| [2] | 苟立 等.[J].稀有金属材料与工程,2003,32(z1):225. |
| [3] | 姚学祥,张桂香.超硬材料刀具研究现状和趋势[J].硬质合金,2001(03):182-186. |
| [4] | 张继芳,熊继,李懿,芶立.用于金刚石涂层的梯度硬质合金的结构与性能[J].硬质合金,2003(04):200-203. |
| [5] | 俞世吉,丁振峰,马腾才.基片位置对MWPCVD制备金刚石薄膜的影响[J].真空科学与技术学报,2000(02):131-133. |
| [6] | Ali N.[J].Thin Solid Films,2002(420-421):15. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%