FTO/ITO复层导电薄膜的研究

功能材料, 2005, 36(12): 1886-1888.

FTO/ITO复层导电薄膜的研究

胡志强 ^1, , 张晨宁 ^2, , 丘鹏 ^3, , 刘俐宏 ^4, , 奥谷昌之 ^5, , 金子正治 ^6,

1.大连轻工业学院,材料系,辽宁,大连,116034

2.大连轻工业学院,材料系,辽宁,大连,116034

3.大连轻工业学院,材料系,辽宁,大连,116034

4.大连轻工业学院,材料系,辽宁,大连,116034

5.静冈大学,工学部物资工学科,日本,滨松,432-8561

6.静冈大学,工学部物资工学科,日本,滨松,432-8561

基金项目: 中国科学院资助项目(50376007) 辽宁省教育厅资助项目(202073422)

关键词：溶胶-凝胶法 , FTO/ITO复层导电膜 , 电阻率 , 透光率

Study on FTO/ITO composite conducting films

采用溶胶凝胶法与溶液水解法分别制备ITO、FTO以及FTO/ITO复层导电膜,利用分光光度仪测量在可见光范围内的透光率,用四探针法精确测量薄膜的电阻率,通过扫描电镜观测薄膜的表面形态,微观颗粒形貌以及薄膜的厚度.实验表明,用SnCl4·5H2O、In(NO3)3·4.5H2O、NH4F作为主要原料,通过溶胶凝胶法和溶液水解法可制备出低电阻率,高透光性的FTO/ITO复合导电薄膜.

参考文献

[1]	Gordon R G .[J].Materials Research Society Symposium Proceedings,1996,426:419.
[2]	O'Regan B;Gratzel M .[J].Nature,1991,353:737-739.
[3]	Hahn B.;Pschorr-Schoberer E.;Gebhardt W.;Heindel G. .MOCVD layer growth of ZnO using DMZn and tertiary butanol[J].Semiconductor Science and Technology,1998(7):788-791.
[4]	Utsumi K;Matsunaga O;Takahata T .[J].Thin Solid Films,1998,334:30.
[5]	Kim S S;Choi S Y;Park C G et al.[J].Thin Solid Films,1999,347:155.
[6]	Nunes P;Fernanges B;Fortunato E .[J].Thin Solid Films,1999,337:176.
[7]	Kumara G R A;Okuya M;Kaneko S.5th International Conference on Coating on Glass-ICCG[C].Germany:Saarbruecken,2004
[8]	范志新.液晶器件工艺基础[M].北京:北京邮电大学出版社,2000
[9]	彭国贤 .[J].真空科学与技术,1984,14(05):339-346.

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