金刚石N型导电研究

功能材料, 2004, 35(z1): 1094-1096.

1.山东大学,物理与微电子学院;山东大学,国家晶体材料重点实验室,山东,济南,250100

2.山东大学,物理与微电子学院

3.山东大学,物理与微电子学院

4.山东大学,物理与微电子学院

5.山东大学,物理与微电子学院

基金项目: 山东省自然科学基金(Y2003A01) 国家自然科学基金(10374060)

Study of n-type conductivity of diamond

金刚石n型材料是近年来金刚石半导体器件研究的关键因而成为半导体材料领域研究的热点之一.本文通过理论计算对n-型材料研究中存在的磷(P)掺杂材料电子激活能量太高及掺硼p-型金刚石材料出现的导电类型转换现象进行了分析和探讨.

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