S136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角

机械工程材料, 2013, 37(12): 21-26.

S136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角

王翠凤 ^1, , 邱锡荣 ^2, , 康爱军 ^3, , 梁家豪 ^4, , 黄文荣 ^5,

1.福建信息职业技术学院,福州350003

2.高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706

3.东北特殊钢集团技术中心工模具钢研究室,抚顺113001

4.高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706

5.高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706

基金项目: 福建省教育厅科研项目(JA13380)

关键词： CrN薄膜 , 接触角 , S136不锈钢

Hardness and Contact Angle of CrN Coating Sputtered on Matrix of S136 Stainless Steels

WANG Cui-feng ^1, , QIU Xi-rong ^2, , KANG Ai-jun ^3, , LIANG Jia-hao ^4, , HUANG Wen-rong ^5,

1.福建信息职业技术学院,福州350003

2.高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706

3.东北特殊钢集团技术中心工模具钢研究室,抚顺113001

4.高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706

5.高雄应用科技大学模具工程系,高雄80706

Keywords： CrN film , contact angle , S136 stainless steel

在不同的S136不锈钢基体上溅射制备了氮化铬(CrN)薄膜,通过接触角的测量、硬度测试、扫描电子显微镜观察及X射线衍射分析等方法研究了基材的组织、方向性、表面粗糙度、表面机械加工方法及溅射偏压对CrN薄膜接触角和硬度的影响.结果表明:在溅射功率300W、施加-120V偏压、氩气和氮气流量比9∶1溅射条件下,可得到Cr2N单相薄膜,呈现(111)面择优取向;溅射CrN薄膜显著提高S136不锈钢表面硬度和接触角;溅射时施加负偏压的CrN薄膜接触角明显大于未施加的;基材杂质少、碳化物细小、研磨后抛光、施加负偏压的纵向试样溅射CrN薄膜后硬度较高(1 177 HV)、接触角较大(98.77°).

参考文献

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