蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响

材料导报, 2001, 16(7): 62-55.

1.中国工程物理研究院,

2.中国工程物理研究院,

3.中国工程物理研究院,

4.中国工程物理研究院,

Effect of Vapour and Sputter Deposited Vacuum on Composition and Structure of Uranium Thin Films

用X-光电子能谱仪(XPS)、扫描透射电镜(STEM)分析了蒸发、磁控溅射沉积真空对铀薄膜组成和结构的影响。结果表明，在沉积真空2Pa下，蒸发、磁控溅射沉积的铀薄膜已完全氧化；在沉积真空2×10-1Pa下，磁控溅射沉积的铀薄膜由金属铀和二氧化铀组成，薄膜呈微晶或无定形结构。

[1]	InglesfieldJE .[J].Rep Prog Phys,1982,45:223.
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