采用喷雾热解法在玻璃基板上制备了SnO2:F+Sb薄膜,对薄膜的结构及性能进行了研究.用STM对薄膜表面进行表征,发现薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为16.283nm.四探针测试仪测定薄膜方阻为60Ω/□,电阻率为2.1×10-3Ω·Cm.用XRD表征薄膜结构,薄膜为四方相多晶SnO2结构,说明掺杂没有该变薄膜结构.对薄膜的光学性能进行了测试,可见光透过率达到80%,在2500nm处的中远红外区反射率由镀膜前的6%上升到36%.按国家标准测试了镀膜玻璃耐酸碱稳定性,实验前后薄膜的可见光透过率变化＜3%,符合国家标准.同时本研究还对镀膜玻璃的保温性能进行了测试,结果表明本实验制备的镀膜玻璃具有较好的保温性能.
参考文献
| [1] | 王德苗,朱月秀.喷镀法制备SnO2膜导电玻璃的研究[J].真空,2002(03):33-36. |
| [2] | 范志新,陈玖琳,孙以材.二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式[J].电子器件,2001(02):132-135. |
| [3] | 张聚宝,侯春,翁文剑,程逵,杜丕一,沈鸽,汪建勋,韩高荣.喷雾热解法制备SnO2：Sb透明导电薄膜[J].硅酸盐学报,2003(11):1063-1068. |
| [4] | Pavazoglou P .[J].Thin Solid Films,1997,302:204-213. |
| [5] | Terrier C.;Roger JA.;Chatelon JP. .ELECTRICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF SB-SNO2 THIN FILMS OBTAINED BY THE SOL-GEL METHOD[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1997(1/2):95-100. |
| [6] | Brauer G;Szczyrbowski J;Teschner G .[J].Surface and Coatings Technology,1997,94-95:658-662. |
| [7] | Frank G;Kauer E;Kostlin H .[J].Thin Solid Films,1981,77:107-117. |
| [8] | 张锦文;武光明;宋世庚 等.[J].功能材料,1999,30(03):312-316. |
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