AlGaN外延薄膜材料的椭圆偏振光谱研究

功能材料, 2010, 41(10): 1691-1693.

1.重庆邮电大学,光纤通信技术重点实验室,重庆,400065

2.重庆邮电大学,光纤通信技术重点实验室,重庆,400065

3.深圳大学,物理科学与技术学院,广东,深圳,518060

4.重庆光电技术研究所,重庆,400060

5.重庆光电技术研究所,重庆,400060

基金项目: 重庆邮电大学自然科学基金资助项目(A200929) 中国电子科技集团公司预研基金资助项目(200862501G03)

A study of AlGaN epitaxial film by spectroscopic ellipsometry

对蓝宝石衬底上生长的一系列AlxGa1-xN薄膜进行了椭圆偏振光谱研究,得到了薄膜的厚度以及245～1000nm的光学常数;通过有效介质模型计算出Al组分;随着Al组分的增加,折射率n下降,吸收边蓝移,与透射光谱结果一致.

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