PbTiO3薄膜生长的Monte Carlo模拟Ⅱ:模拟结果与讨论

功能材料, 2005, 36(10): 1535-1537.

PbTiO3薄膜生长的Monte Carlo模拟Ⅱ:模拟结果与讨论

于光龙 ^1, , 朱建国 ^2, , 朱基亮 ^3, , 芦苇 ^4, , 肖定全 ^5,

1.四川大学,材料科学系,四川,成都,610064

2.四川大学,材料科学系,四川,成都,610064

3.四川大学,材料科学系,四川,成都,610064

4.四川大学,材料科学系,四川,成都,610064

5.四川大学,材料科学系,四川,成都,610064

基金项目: 国家自然科学基金(50132020) 国家重点基础研究发展计划(973计划)(Z0601)

关键词： Monte Carlo模拟 , 薄膜生长 , PbTiO3薄膜 , 氧化物

Simulation of the growth of PbTiO3 thin film by Monte Carlo method Ⅱ:results and discussion

根据本文作者提出的基于Monte Carlo方法模拟多元氧化物薄膜生长的三维模型及模拟算法(详见另文),编制了模拟软件,并以PbTiO3薄膜为例模拟了多元氧化物薄膜生长初期的表面形貌.模拟中选定两个输入参数为沉积速率和沉积温度,并根据相关研究报道的实验条件,分别取沉积速率处于0.1～0.001nm/s之间,沉积温度处于800～1000K之间.模拟结果表明,在薄膜生长的初始阶段,沉积速率和沉积温度对薄膜形貌的影响很大,随着沉积速率的降低和沉积温度的升高,初始凝聚岛的面积增大,总的岛的数目减小;在较低的沉积速率和较高的沉积温度条件下更容易得到薄膜的层状生长.

参考文献

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