双重加热法是低成本、大批量合成碳化硅晶须的新技术,合成温度低、合成时间短、生成率高.对以炭黑和二氧化硅微粉为原料、用双重加热法合成碳化硅晶须的工艺过程进行了研究.观察了不同合成时间、合成温度和催化剂条件下的碳化硅晶须,揭示出不同工艺参数对合成的碳化硅晶须的产出率,微观形貌、直径和长度范围的影响.结果表明,催化剂的使用可以加快反应速度,提高碳化硅晶须的生成率,合成过程为VLS.实验中初步得到的最佳经济工艺参数为:Fe2O3的用量为2%,合成时间为1.5 h,合成温度为1250 ℃.此时的该工艺条件下碳化硅晶须的生成率可达80%,晶须平均直径为0.6μm,平均长度为30μm.
参考文献
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