有机-无机复合光波导在光通信领域具有重要的应用价值,是目前的研究热点之一.采用溶胶-凝胶法分别制备了膜厚达13μm的光滑平整的PMMA膜和具有紫外感光性的膜厚为1.76μm的SiO2/ZrO2凝胶膜,研究了SiO2/ZrO2凝胶膜的感光性及紫外光照对两种薄膜折射率的影响.在此基础上,以PMMA膜为包层膜,SiO2/ZrO2凝胶膜为芯层膜,实现了光波导的包芯层复合.利用SiO2/ZrO2凝胶膜的感光性,结合紫外掩模技术,制备了条形的有机-无机复合光波导,理论分析表明该复合条形光波导能够实现入射波长为1.31μm,模数为0,1的传输.
参考文献
| [1] | 唐天同;王兆宏.集成光学[M].北京:科学出版社,2005 |
| [2] | 刘光灿,白廷柱.平面光波导器件及应用分析[J].光电技术应用,2005(03):45-48. |
| [3] | 李小甫,余海湖,姜德生.光波导用TiO2/SiO2复合薄膜的制备及其性能研究[J].光电子技术与信息,2003(02):20-25. |
| [4] | 徐永青,梁春广,杨拥军,赵彤.硅基SiO2光波导[J].半导体学报,2001(12):1546-1550. |
| [5] | 郜定山,李建光,王红杰,安俊明,李健,韩培德,胡雄伟.在硅片上沉积厚二氧化硅的火焰水解法研究[J].光学学报,2004(09):1279-1282. |
| [6] | 欧海燕,杨沁清,雷红兵,王红杰,余金中,王启明,胡雄伟.用氧化多孔硅方法制备厚的Si02膜及其微观分析[J].半导体学报,2000(03):260-263. |
| [7] | 刘昊 .有机聚合物光波导的研究[D].东南大学,2004. |
| [8] | 赵桂荣,赵高扬.非晶ZrO2-SiO2系薄膜及微细图形的制备[J].材料研究学报,2002(02):168-171. |
| [9] | 赵高扬,张卫华,王哲哲,赵卫,蒋百灵.感光薄膜与二维Bragg光栅制备[J].自然科学进展,2007(02):276-280. |
| [10] | Zhao Gaoyao;Wang Zhezhe;Zhang Weihua .[J].Optical Engineering,2007,46(02):1-4. |
| [11] | 梁群兰 .二氧化硅基光导膜的制备与微细加工[D].西安:西安理工大学,2003. |
| [12] | 小林功郎;崔风林.光集成器件[M].北京:科学出版社,2002:13-25. |
| [13] | 陈益新.集成光学[M].上海:上海交通大学出版社,1985:19-23. |
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