前驱体凝胶法制备SrxBa1-xNb2O6铁电薄膜的研究

功能材料, 2006, 37(1): 80-86.

前驱体凝胶法制备SrxBa1-xNb2O6铁电薄膜的研究

张贺新 ^1, , 李垚 ^2, , 赫晓东 ^3, , 赵九蓬 ^4,

1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150001

2.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150001

3.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150001

4.哈尔滨工业大学,应用化学系,黑龙江,哈尔滨,150001

基金项目: 中国科学院资助项目(50232030)

关键词： SrxBa1-xNb2O6 , 薄膜 , 前驱体凝胶 , 柠檬酸 , 乙二醇

Fabrication of SrxBa1-xNb2O6 thin films by aqueous organic gels

以羟基羧酸作为配位剂与金属离子配位,以乙二醇为交联剂促进聚合反应并以碳酸盐为反应原料,采用前躯体凝胶法在水溶液中制备铌酸锶钡(SrxBa1-xNb2O6,SBN)前驱体溶胶.将此溶胶在预热的Si/SiO2/Ti/Pt基片上旋转涂膜得到了平整均匀的SBN铁电薄膜.研究了pH值、乙二醇(EG)/柠檬酸(CA)(质量比)、热处理温度对SBN凝胶相组成、相结构以及SBN薄膜形貌的影响规律.结果表明当pH≥7且EG:CA=60:40时,可以获得稳定性良好的溶胶.对SBN薄膜热处理和红外光谱分析表明:随温度升高,SBN相衍射峰逐渐增强,晶型转变明显.同时COO-基团也逐渐消失,Sr-O、Ba-O和Nb-O峰显著增强.在800℃时,可得到单一钨青铜相的铌酸锶钡;SBN薄膜的SEM微观组织表明在750℃退火条件下可以获得晶粒为纳米级的表面均匀、无裂纹的SBN薄膜.

参考文献

[1]	肖定全 .[J].压电与声光,1996,18(01):45.
[2]	Ayyub P;Chattopadhyay S;Pinto R .[J].Physical Review B,1998,57(10):5556-5559.
[3]	Daglish M;Kemmitt T .[J].The Institution of Professinal Engineers New Zealand,2000,27(01):21.
[4]	Koo J;Jang J H .[J].Journal of the American Ceramic Society,2001,84(01):193.
[5]	E. S. Ramakrishnan;K. D. Cornett;G. H. Shapiro;W. -Y. Howng .Dielectric properties of radio frequency magnetron sputter deposited zirconium titanate-based thin films[J].Journal of the Electrochemical Society,1998(1):358-362.
[6]	Blossfeld L;Warren W L;Kammerdiner L et al.[J].Vacuum,1990,41(06):1428.
[7]	Cheng H F;Chiou G S;Liu K S et al.[J].Applied Surface Science,1997,113-114:217.
[8]	Li T K;Zhu Y F;Desu S B et al.[J].Applied Physics Letters,1996,68(05):616.
[9]	Zhang Zhigang;Yan Feng;Zhu Jinsong .[J].Thin Solid Films,2000,375(1-2):176-179.
[10]	Christain G D.Analytical Chemistry[M].New York:John Wiley and Sons Inc,1986
[11]	Earl M A.Critical Stability Constants[M].New York:Plenum Press,1974

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