发动机挺柱沉积类金刚石薄膜的工艺及性能

电镀与涂饰 , 2013, 32(6): 19-21.

发动机挺柱沉积类金刚石薄膜的工艺及性能

黄平 ^1, , 张营营 ^2, , 张斌 ^3, , 范梅梅 ^4, , 李兴杰 ^5, , 强力 ^6,

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3.中国科学院兰州化学物理研究所,甘肃兰州730000

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关键词：挺柱 , 类金刚石 , 薄膜 , 磁控溅射 , 摩擦 , 磨损

Deposition technology and properties of diamond-like carbon thin film on tappet

HUANG Ping ^1, , ZHANG Ying-ying ^2, , FAN Mei-mei ^3, , LI Xing-Jie ^4, ,

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Keywords： tappet , diamond-like carbon , thin film , magnetron sputtering , friction , wear

采用磁控溅射法,以Cr、Ti和石墨为靶材,Ar、N2和CH4为溅射气体,在材料为20CrMo的发动机挺柱上利用多层梯度复合技术沉积了低摩擦类金刚石(DLC)薄膜复合层CrTi/CrTiN/CrTiC/DLC.该薄膜复合层的纳米压痕硬度高达13 GPa,结合力为50 N,表面粗糙度为0.398 nm.在SRV-IV微动摩擦磨损试验机上进行耐磨损试验后,DLC复合薄膜挺柱的磨损率为渗碳挺柱的1/6.该研究技术具有自主知识产权,实现了挺柱批量化覆膜加工,并有望在发动机主要摩擦副上推广应用.

参考文献

[1]	彭德豹;孙泽涛.汽车发动机构造与维修[M].武汉:华中科技大学出版社,2010:113-118.
[2]	张广安,王鹏,陈友明,王霞,闫鹏勋,张俊彦.中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究[J].摩擦学学报,2008(02):118-122.

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