超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响

人工晶体学报, 2014, 43(3): 523-527.

超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响

黎波 ^1, , 龚恒翔 ^2, , 孟祥杰 ^3, , 任维义 ^4, , 陈太红 ^5,

1.西华师范大学理论物理研究所,南充637009;重庆理工大学物理实验中心,重庆400054

2.重庆理工大学物理实验中心,重庆400054

3.西华师范大学理论物理研究所,南充637009

4.西华师范大学理论物理研究所,南充637009

5.西华师范大学理论物理研究所,南充637009

基金项目: 四川省科技厅基金资助项目(009JY0143) 西华师范大学基本科研基金资助项目(13C008)

关键词： ZnO薄膜 , 超声雾化热解法 , 衬底温度 , 微观形貌 , 透过率

Influence of Substrate Temperature on the Performance of ZnO Thin Films Prepared by Ultrosonic Spray Pyrolysis Method

LI Bo ^1, , GONG Heng-xiang ^2, , MENG Xiang-jie ^3, , REN Wei-yi ^4, , CHEN Tai-hong ^5,

1.西华师范大学理论物理研究所,南充637009;重庆理工大学物理实验中心,重庆400054

2.重庆理工大学物理实验中心,重庆400054

3.西华师范大学理论物理研究所,南充637009

4.西华师范大学理论物理研究所,南充637009

5.西华师范大学理论物理研究所,南充637009

Keywords： ZnO thin film , ultrasonic spray pyrolysis , substrate temperature , morphology , transmittance

以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外-可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌及其光学性质,重点探究了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.分析表明:制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,衬底温度对薄膜的质量有着重要的影响;所得薄膜在400℃时结晶性能好,沿c轴择优取向生长,具有优良的均匀性和致密性;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86％以上,在紫外光区吸收强烈.

参考文献

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