ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器的制备和性质表征

功能材料, 2004, 35(z1): 2930-2933.

ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器的制备和性质表征

徐红燕 ^1, , 刘秀琳 ^2, , 李梅 ^3, , 余丽丽 ^4, , 王成建 ^5, , 蒋民华 ^6, , 崔得良 ^7,

1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

2.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

3.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

4.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100

5.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100

6.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

7.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

基金项目: 高等学校博士学科点专项科研项目(20020422057) 国家自然科学基金(50272036,90101016,90206042)

关键词： ZnO多孔纳米固体 , 气敏传感器 , 响应时间

Preparation and characterization of ZnO porous nanosolid gas sensors

以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了多孔的ZnO体块纳米固体,测试了以多孔纳米固体为原料制成的厚膜气敏传感器对挥发性有机化合物(VOCs)乙醇、丙酮、苯、甲苯和二甲苯蒸气的气敏特性,并与用ZnO纳米粉制备的厚膜传感器进行了比较.结果发现,与ZnO纳米粉相比,用ZnO多孔纳米固体制备的厚膜传感器在空气中的电阻大大减小,最佳敏感温度降低、响应时间和恢复时间大大缩短.通过综合分析ZnO纳米粉和ZnO多孔纳米固体的XRD、TEM及厚膜传感器的SEM测试结果研究了厚膜传感器气敏特性的差异.

参考文献

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