陶瓷衬底薄膜太阳能电池的制备

1.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

2.清华大学深圳研究生院,深圳,518057

3.清华大学材料科学与工程系,北京,100084;清华大学深圳研究生院,深圳,518057

4.清华大学材料科学与工程系,北京,100084;清华大学深圳研究生院,深圳,518057

5.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

6.北京市太阳能研究所,北京,100083

7.北京市太阳能研究所,北京,100083

基金项目: 北京市自然科学基金(2021001)

The Problem and Its Solution during The Preparation of Polycrystalline Si Thin-film Solar Cell with Ceramic Substrates

详细分析了陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池在制备过程中由于衬底的引入而导致一系列问题,比如衬底杂质含量过高、热膨胀系数等热力学参数和硅不匹配、沉积过程中杂质扩散以及晶体学参数不匹配导致沉积的硅薄膜晶粒不能长大等.针对衬底可能导致的不利因素给出了解决办法,同时进一步用实验验证了工艺的可行性.

[1]	赵富鑫;魏彦章.太阳电池及其应用[M].北京:国防工业出版社,1985
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[5]	李海峰 .[J].稀有金属材料与工程,2003,32(Z1):537.

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