用正硅酸乙酯(ETOS),乙醇(EtOH),水以及盐酸以一定的比例混合配制溶胶(其中盐酸为催化剂).以普通浮法玻璃为衬底,用浸渍提拉法制备了厚度为100nm左右的SiO2薄膜.对其进行等温和等时退火,用台阶仪测定其厚度变化,给出经验拟合公式.研究了退火对透过率、折射率以及气孔率的影响,并做出比较详细的理论解释.
参考文献
| [1] | 瞿其曙,何友昭,淦五二,李敏,林祥钦.超细二氧化硅的制备及研究进展[J].硅酸盐通报,2000(05):57-64. |
| [2] | Briuker C J.[M].Academic Press,1990 |
| [3] | 黄凤良,周彦煌,余永刚.一种温度间接测定法[J].计量学报,2001(02):111-115. |
| [4] | Mc Donagh C;Sheridan F;Bulter T et al.[J].Journal of Non-Crystalline Solids,1996,194:372-377. |
| [5] | Griffin A J J;Brotzen F R .[J].Journal of Applied Physics,75(08):3761-3767. |
| [6] | Yang CM.;Pan FM.;Tsai TG.;Chao KJ.;Cho AT. .Spin-on mesoporous silica films with ultralow dielectric constants, ordered pore structures, and hydrophobic surfaces[J].Advanced Materials,2001(14):1099-0. |
| [7] | 黄凤良 .[D].南京:南京理工大学,2000. |
| [8] | 杨世铭.[M].北京:高等教育出版社,1987 |
| [9] | 多孔介质内自然对流传热传质研究[J].南京理工大学学报,1998(02):169. |
| [10] | 王德宪;郭利娅.[J].玻璃,2003:16739-43. |
| [11] | Yoklas B E .[J].Applied Optics,1980,19:1425-1430. |
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