半导体SnO2纳米晶态粉体显微结构对气敏传感器性能的影响

功能材料, 2000, 31(2): 178-182.

半导体SnO2纳米晶态粉体显微结构对气敏传感器性能的影响

惠春 ^1, , 陈寿田 ^2, , 徐爱兰 ^3, , 徐毓龙 ^4,

1.西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049

2.西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049

3.西安电子科技大学技术物理系,陕西,西安,710071

4.西安电子科技大学技术物理系,陕西,西安,710071

关键词： SnO2 , 纳米晶态粉体 , 气敏传感器

Effect of the Microstructure of Semiconductor SnO2 Nanocrystalline Powders on the Properties of Thick Film Gas Sensors

用XRD、SEM手段分析了共沉淀工艺和水热合成技术制备的半导体SnO2纳米晶态粉体及其厚膜陶瓷材料的显微结构,结果表明两种粉体的晶粒尺寸大约7nm,但两种粉体的XRD照片差异较大.用水热合成技术制备的粉体其颗粒是由纳米晶粒团聚而成,颗粒尺寸大约300nm左右,具有较大的表面活性,而用共沉淀工艺制备的粉体,颗粒分布较宽,活性差.两种粉体的显微结构对厚膜陶瓷材料显微结构的形成和SnO2厚膜气敏传感器选择性、灵敏度和稳定性有着显著的影响.

参考文献

[1]	徐毓龙;Heiland G .[J].传感器技术,1995,4:59-64.
[2]	lhokura K;Watson J.The Stannic Oxide Gas Sensor Principles and Applications[M].Boca Roca Raton,FL,1994
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[4]	Briand D.;Currie JF.;Delabouglise G.;Labeau M. .Pd-doped SnO2 thin films deposited by assisted ultrasonic spraying CVD for gas sensing: selectivity and effect of annealing[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,1998(1/3):395-402.
[5]	Goepel W;Schierbaum K D .[J].Sensors and Actuators B-Chemical,1995,26-27:1-12.
[6]	Hui Chun;Chen Shoutian;Xu Ailan.A Study of Thick-Film Gas Sensors based on Nanopowderas Prepared by Hydrothermal Synthesis Technique,Technical Digest of the Seventh lnternational Meeting on Chemical Sensors[M].International Academic Publishers,1998:75-77.
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Effect of the Microstructure of Semiconductor SnO2 Nanocrystalline Powders on the Properties of Thick Film Gas Sensors

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