随着光学、微电子、航天和激光技术的发展,在晶体或玻璃等无机材料上制备亚纳米级的超光滑无损伤表面已成为现代精密加工技术领域的重点研究课题.近年来,此项技术研究进展迅速,不仅改进了传统的抛光技术,还出现了浮法抛光、离子束加工和弹性发射加工等新技术.系统介绍了超光滑表面的检测、制备技术及其发展,并讨论了抛光过程中的机械化学作用机理.
参考文献
| [1] | Tesar A A;Fuchs B A .[J].SPIE,1991,1531:80. |
| [2] | 杨健 .[D].西安:西北工业大学,1997. |
| [3] | Andreas Wuttig;Jorg Steinert .[J].Angela Duparre SPIE,1999,3739:369. |
| [4] | Yang Jiandong;Chunlin;Xiao Yong .[J].SPIE,2000,4231:527. |
| [5] | Liu Xiangyang;Lijiang;Luo Hongyun .[J].SPIE,2000,4231:504. |
| [6] | 吕玉山 .[D].沈阳:东北大学,1997. |
| [7] | Anderson D S;Angel J R P;Burge J H .[J].SPIE,1991,1531:260. |
| [8] | Zhi M Liao;Simon J Cohen;John R Taylor .[J].SPIE,1999,2428:43. |
| [9] | Kozlowski M R;Carr J;Hutcheon Ⅰ .[J].SPIE,1998,3244:365. |
| [10] | Lynn Sheehan;Wu Z;Mark R Kozlowski .[J].SPIE,1999,3678:694. |
| [11] | 宋绍忠 .[D].西安:西北工业大学,1997. |
| [12] | Colin L Battersby;M Sheehan;Mark R Kozlowski .[J].SPIE,1999,3578:446. |
| [13] | Li Jianbai;Li Xiaoyun;Ying Aihan .[J].SPIE,1998,3557:276. |
| [14] | Axel Kiesel .Angela Duparre Manuela Haase[J].SPIE,1996,2775:140. |
| [15] | Kareb L Kavanagh .[J].SPIE,1997,3141:2. |
| [16] | Tesar A A;Fuchs B A;Paul Hed P .[J].Applied Optics,1992(31):7164. |
| [17] | Tu Dawei;Yongmo;Lu Zukang .[J].SPIE,1992,1821:467. |
| [18] | Gao Honggang;Cao Jianlin;Wu Minggen .[J].SPIE,2000,4231:208. |
| [19] | 阎纪旺;于骏 .[J].物理,1996,23(02):97. |
| [20] | ZhengWeimin;Cao Tianning;Xu Yanzhao .[J].SPIE,1998,3557:238. |
| [21] | Yoshiharu Namba;Yoshida;Hidetsugu Yoshida .[J].SPIE,1998,3244:320. |
| [22] | 程耀庚 .稀土抛光粉的制备及性能研究[D].东北大学,1997. |
| [23] | 杨威 .激光陀螺反射镜基片超精密抛光技术的研究[D].西北工业大学,1991. |
| [24] | Huan Chi Teseng;Chao .[P].US 5685947,1997. |
| [25] | 滕霖;宋绍忠;任敬心 .[J].航空精密制造技术,1997,33(03):1. |
| [26] | 滕霖;宋绍忠;任敬心 .[J].航空精密制造技术,1997,33(04):1. |
| [27] | Achim J Leistner;Eric G Thwaite .Frank Lesha[J].Applied Optics,1992,31(10):1472. |
| [28] | 滕霖 .[D].西安:西北工业大学 |
| [29] | 龚辉.连续CO2激光对熔石英表面的增强处理研究[J].中国激光,1997(03):255. |
| [30] | Fidel Vega .Jesus Armengol[J].Nuria Lupon SPIE,1999,3822:92. |
| [31] | Song Xiaoli;Zhang Jiwu;Xin Qiming .[J].SPIE,2000,4231:214. |
| [32] | 高宏刚;曹键林;陈斌.[J].光学技术,1995(03):40. |
| [33] | John S Taylor .[P].US 5591068,1997. |
| [34] | 张云 .固着磨料低温抛光的研究[D].吉林工业大学,1999. |
| [35] | Liu Xiangyang;Lijiang;Luo Hongyun .[J].SPIE,2000,4243:504. |
| [36] | 郑睿韬 .[D].上海:中科院上海光机所,1995. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%