基于扩散方程,对LiNbO3晶片Na+扩散进行了理论分析和实验研究.研究表明,LiNbO3晶体的Na+扩散工艺宜选择Na2CO3和富锂LiNbO3的混合物为扩散源,于950～1000℃扩散20h.扩散可一定程度地保证Na+的均匀性.扩散层厚度以及Na+相对含量和扩散层厚度的关系与扩散时间密切相关,且Na+扩散进入LiNbO3晶片的扩散源是相对变化的,表层为NaNbO3,其次是Li1-xNaxNbO3,x值随扩散的深入而变小.同时发现晶片的Na+扩散是以Na+替代Li+的方式进行的.
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