纳米复合薄膜的制备及其应用研究

材料科学与工程学报, 1999, 17(4): 1-6. doi: 10.3969/j.issn.1673-2812.1999.04.001

纳米复合薄膜的制备及其应用研究

韩高荣 ^1, , 汪建勋 ^2, , 杜丕一 ^3, , 张溪文 ^4, , 赵高凌 ^5,

1.浙江大学材料系,硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027

2.秦皇岛玻璃工业设计研究院,河北秦皇岛,066001

3.浙江大学材料系,硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027

4.浙江大学材料系,硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027

5.浙江大学材料系,硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027

基金项目: 国家自然科学基金(69890230,69776004,5 9872029)

关键词：纳米复合 , 薄膜制备 , 薄膜应用

Preparation and Application of Nano-composite Thin Films

纳米复合薄膜材料由于具有传统复合材料和现代纳米材料两者的优点,正成为纳米材料的重要分支而越来越引起广泛的重视和深入的研究. 本文全面介绍了纳米复合薄膜的发展历史、制备方法、薄膜性能及其应用前景.提出了纳米复合薄膜材料研究的关键问题以及今后的发展方向.

参考文献

[1]	Tsunetomo K et al.[J].Japanese Journal of Applied Physics,1989,28:1928.
[2]	Meda Y et al.[J].Applied Physics Letters,1991,59:3168.
[3]	Hayashi K et al.[J].Japanese Journal of Applied Physics,1990,29:756.
[4]	Fujii M et al.[J].Journal of Applied Physics,1991,30:687.
[5]	Kanzig W Helv .[J].Phys Acta,1951,24:175.
[6]	Smolensky G A .[J].Journal of the Physical Society of Japan,1970,28:26.
[7]	R Kubo .[J].Journal of the Physical Society of Japan,1962,17:975.
[8]	Gleiter H .[J].Materials Science and Engineering,1982,52:91.
[9]	Veprek S .[J].Solid-State Electronics,1968,11:683.
[10]	Birriiner R;Gleiter H et al.[J].Physics Letters,1984,102A:365.
[11]	Ruchschlos M;Landkammer B et al.[J].Applied Physics Letters,1993,63:1474.
[12]	Zhang Q;Bayliss S C et al.[J].Applied Physics Letters,1995,66:1977.
[13]	Augustime B H;Lrene E A et al.[J].Journal of Applied Physics,1995,78:15.
[14]	He Y et al.[J].Chin Phys Lett,1993,10:539.
[15]	Chakravorty D .[J].Ferroelectrics,1990,102:33.
[16]	Nogami M et al.[J].Journal of Non-Crystalline Solids,1990,122:101.
[17]	W A P Classen;Bloem, J Electronchem .[J].Sox,1981,128:194.
[18]	朱懿,余京松,韩高荣.乙烯含量对CVD法硅镀膜玻璃结构和性能的影响[J].建筑材料学报,1999(02):126.
[19]	W Han;G Han et al.[J].Amorphous Silicon Technolog MRS,1993,297:381.
[20]	韩伟强,韩高荣,丁子上.纳米硅薄膜结构特性研究[J].半导体学报,1996(06):406.
[21]	W Han;G Han;Z Ding et al.[J].Chinese Science Bulletin,1996,41:1139.
[22]	韩伟强;韩高荣;聂东林;丁子上 .[J].硅酸盐学报,1996,24:333.
[23]	韩伟强;韩高荣;丁子上 .[J].真空科学与技术学报,1996,16:438.
[24]	韩伟强;韩高荣;聂东林;丁子上 .[J].太阳能学报,1996,17:87.
[25]	Yi Zhu;Gaoling Zhao;Gaorong Han.Proceedings of the Japan-Ch ina Bilateral Symposium on Advanced materials Engineering for Novel Methods for Preparation and Evaluation of Coatings[M].Japan,1999:135.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

纳米复合薄膜的制备及其应用研究

Preparation and Application of Nano-composite Thin Films

参考文献