大功率准分子激光器控制系统研制

1.重庆大学自动化学院重庆,400044

2.重庆大学自动化学院重庆,400044

3.中国科学院安徽光学精密机械研究所合肥,230031

Development of a Microcomputer Controlling System for High Power Excimer Laser

本文设计了一个智能化的激光器控制系统,它可以完成对准分子激光器正常工作时的技术参数的测量.该装置具有使用方便、成本低、误差小等特点,经过实际使用验证,工作稳定可靠,具有较好的实用价值.

[1]	周炎勋等.计算机自动测量和控制系统[M].北京:国防工业出版社,1992
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