使用三氧化钨薄膜之苯气体传感器

功能材料与器件学报 , 2008, 14(2): 389-393. doi: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.024

使用三氧化钨薄膜之苯气体传感器

李佳言 ^1, , 张金龙 ^2, , 林秋丰 ^3, , 曾全佑 ^4, , 傅龙明 ^5,

1.大叶大学机械与自动化工程学系,彰化,515

2.屏东科技大学车辆工程系,屏东,912

3.屏东科技大学车辆工程系,屏东,912

4.屏东科技大学车辆工程系,屏东,912

5.屏东科技大学材料工程系,屏东,912

关键词：苯 , 三氧化钨 , 磁控溅镀 , 微机电制程 , 气体传感器

MEMS-based benzene gas sensor with WO3 thin film

本文利用微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)制程制作成三氧化钨薄膜苯气体传感器,其结构包含三氧化钨(WO3)感测层、白金(Pt)指叉式电极(包括加热及感测两部分).利用RF溅渡方式沉积出三氧化钨薄膜,再由退火处理来得到较多的孔洞结构来提升传感器的灵敏度,并使用蒸镀(E-beam)方式制作白金指叉式电极.再将微型传感器置于气体检测箱在200℃、250℃及300℃不同操作温度下观察苯浓度与感测层电阻值间的变化关系.

参考文献

[1]	Penza M.;Mirenghi L.;Gerardi C.;Martucci C.;Cassano G.;Tagliente MA. .Tungsten trioxide (WO3) sputtered thin films for a NOx gas sensor[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,1998(1):9-18.
[2]	Lemire C.;Lollman DBB.;Al Mohammad A.;Gillet E.;Aguir K. .Reactive RF magnetron sputtering deposition of WO3 thin films[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,2002(1):43-48.
[3]	P. Ivanov;J. Hubalek;K. Malysz;J. Prasek;X. Vilanova;E. Llobet;X. Correig .A route toward more selective and less humidity sensitive screen-printed SnO_2 and WO_3 gas sensitive layers[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,2004(1/2):221-227.
[4]	J. Hubalek;K. Malysz;J. Prasek;X. Vilanova;P. Ivanov;E. Llobet;J. Brezmes;X. Correig;Z. Sverak .Pt-loaded Al_2O_3 catalytic filters for screen-printed WO_3 sensors highly selective to benzene[J].Sensors and Actuators, B. Chemical,2004(3):277-283.

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