基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar.
参考文献
| [1] | Lawer D J;Santiago J G.A review of mieropumps[J].Journal of Micromechanics and Microengineering,2004(14):35-64. |
| [2] | Yamahata C;Lotto C;A1-Assaf E.A PMMA valveless mieropump using electro-magnetie actuation.Microfluid Nanofluid[J].Microfluidics and Nanofluidics,2005(01):197-2070. |
| [3] | Derek Rinderkneeht;Anna Iwaniee Hiekerson;Morteza Gharib.A valveless micro impedance pump driven by electromagnetie aetuation[J].Journal of Micromechanics and Microengineering,2005(15):861-866. |
| [4] | 苏宇锋,陈文元,崔峰.电磁驱动柔性振动膜无阀微泵[J].微细加工技术,2003(04):60-64. |
| [5] | 张涛,吴一辉,张平,王淑荣.Si基Cu/NiFe薄膜的生长及其粘附特性研究[J].传感技术学报,2006(05):1444-1447. |
| [6] | 张涛,吴一辉,黎海文,刘波,张平,王淑荣.基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器[J].光学精密工程,2007(06):866-872. |
| [7] | 李淑娴 .微升量级液体动态混合器及器件研究[D].长春:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,2006. |
| [8] | Olsson A;Stemme G;Stemme E.A numerical design study of the valveless diffuser pump using a lumped-mass model[J].Journal of Micromechanics and Microengineering,1999(01):34-44. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%