一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039

2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050

基金项目: 上海市科委资助项目(B-27)

A novel variable optical attenuator based on SOI material

设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率.该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB.

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