采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹.与单一靶材相比,TbFeCo/Ti复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题,Bi2O3/Cu复合梯度靶材解决了在溅射过程中的散热问题.
参考文献
| [1] | 杨邦朝,胡永达,蒋明.全球溅射靶材市场及发展趋势[J].电子元件与材料,2002(06):29-31. |
| [2] | 梁广川,刘文西,陈玉如,孙淑英,刘静海.Bi2O3基固体电解质材料研究进展[J].兵器材料科学与工程,2000(01):66-70,72. |
| [3] | 韩雪.9900型靶材与靶托的连接技术[J].稀有金属,2000(04):317-320. |
| [4] | 岳明,刘卫强,刘燕琴,刘钧锴,张久兴.放电等离子烧结TbFeCo磁光靶材工艺研究[J].稀有金属,2003(05):544-546. |
| [5] | 张久兴,刘科高,周美玲.放电等离子烧结技术的发展和应用[J].粉末冶金技术,2002(03):129-134. |
| [6] | 黄旭涛;严密 .功能梯度材料:回顾与展望[J].材料科学与工程学报,1997,15(04):35-38. |
| [7] | Kobayashi Keizo .Joining of ZrO2/Cermet/Ni alloy using spark plasma sintering[J].Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy,1997,44(03):275-279. |
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