通过 Sol- Gel方法和半导体工艺,制备出基于 Ba0.8Sr0.2TiO3( BST)薄膜的非致冷红外焦平面 阵列( UFPA)探测单元.用 ANSYS有限元分析软件,对探测单元进行了热分析.分析结果表明: 微桥的大小可以极大的影响薄膜受到辐射后的温度以及薄膜温度的均匀性.对微桥和硅衬底上 的 BST薄膜进行了结构和性能上的对比.发现微桥上面的 BST薄膜其介电常数有所下降,漏电 流增加.而且为了得到致密无裂纹的 BST薄膜,必须减少它的厚度.对所制备的 UFPA探测单 元进行了红外测试,得到 1.6mV左右的信号输出,可以满足下一步信号处理的需要.
参考文献
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