La、O+双注入硅基薄膜室温可见光致发光研究

1.南昌大学物理系,南昌,330047

2.南昌大学材料科学与工程系,南昌,330047

3.南昌大学材料科学与工程系,南昌,330047

4.南昌大学物理系,南昌,330047

5.南昌大学材料科学与工程系,南昌,330047

基金项目: 中国科学院资助项目(69766001)

Study of visible photoluminescence of silicon-based films doped by La、O+ at room temperature

测量了用离子注入方法将La、O+双注入硅基样品在室温下的光致发光(PL)谱,实验结果表明它们均具有蓝、紫发光峰,且发光稳定.在一定范围内发光效率随退火温度和注入顺序的不同而变化.用原子力显微镜观察了不同条件下制备的样品的表面形貌,并对样品的发光机理作了初步探讨.

[1]	Canham LT .[J].Applied Physics Letters,1990,57(10):1046.
[2]	Bao Xi-mao;Yang Hai-qiang .[J].Applied Physics Letters,1993,63(16):2246.
[3]	Takagi H;Ogawa H;yamazaki Y et al.[J].Applied Physics Letters,1990,56(24):2379.
[4]	王水凤;王平;曾宇昕 .[J].南昌大学学报(理科版),1999,23(04):362.
[5]	Wu MF;Vantomme A;De Wachter J et al.[J].Journal of Applied Physiology,1996,79(09):6920.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分