数字掩模制作控制系统误差特性研究

1.安徽财经大学,信息工程学院,安徽,蚌埠,233041

基金项目: 安徽省教育厅自然科学基金(2006KJ050B)

Error Characteristic of Control System of Digital Mask Manufacture

数字化掩模制作系统的核心控制部件是数字微镜.文中系统分析了数字微镜控制系统对数字化掩模制作系统精度的影响.指出误差来源主要为数字微镜帧刷新率、像素黑栅效应、像素量化和调制非线性等因素,并分别提出了相应的误差修正或补偿方法.提高系统的精缩倍数、像素分辨率以及占空比,可以降低这些误差来源的影响.

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