数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片,它具有较高的分辨率和灰度等级等优点.利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM,从而控制无数多个微小镜片的翻转,实现掩模图形的数字化输出.结合高倍精缩投影系统,可快速实现图形转印.为进一步说明该技术的可行性,进行了实验验证.由于实验条件的限制,文中仅实现了2.2 μm最小线宽的制作.利用该技术成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和菲涅尔透镜.
参考文献
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