采用溶胶-凝胶法以铟、锡氯化物为前驱物制备不同热处理温度下的ITO膜,对制备的ITO膜样品进行X射线衍射分析.研究表明热处理温度对ITO膜的衍射峰相对强度、晶粒尺寸和晶格常数有较大的影响,随着热处理温度的增加,ITO膜随机取向增加,晶粒增大,晶格常数在400 ℃时畸变最小.热处理温度为450 ℃时ITO膜的择优取向较弱,晶粒较大,晶格畸变较小,ITO膜的方阻最小.
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