研究了用薄膜SiO2作介质的可行性.并对电子束蒸发制备的SiO2介质膜进行了微观分析.
参考文献
| [1] | 田民波,薄膜科学与技术手册,北京,机械工业出版社,1991,26 |
| [2] | 陈国平,薄膜物理与技术,南京,东南大学出版社,1993,22 |
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