对TFT(Thin Film Transistor)的栅线及阵列缺陷的表现及成因进行了分析.在实际工艺过程中避免这些缺陷有利于提高器件成品率,改善显示质量.
参考文献
| [1] | 黄锡珉等编译,液晶器件手册,航空工业出版社,1992 |
| [2] | 李维是,郭强编著,液晶显示器件应用技术,北京邮电出版社,1992 |
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