Al2O3与TiO2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响

1.中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳 621900

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3.中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳 621900

Effects of Technical Parameters During Ion-plating Process on Properties of Coating

讨论了在采用离子镀获得Al_2O_3与TiO_2混合涂层工艺过程中，真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响。

[1]	钱苗根.材料表面技术及其应用手册[M].北京:机械工业出版社,1998
[2]	王福贞;闻立时.真空沉积技术[M].北京:机械工业出版社,1989
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