介绍了一种新型的材料微区力学性能检测系统Nano Indenter II纳米显微力学探针.纳米显微力学探针是一个压入系统,其实验过程全部由计算机控制,压头的位移精度可达到+/-0.04nm,因此可以研究材料的微区力学性能,它更适合于分析各种镀膜材料、离子注入材料、表面改性等材料的硬度分布及其弹性模量.它与显微硬度计的最大差别在于它能连续记录载荷-位移数据,通过载荷-位移数据计算材料微区的硬度和弹性模量,而不需要通过光学方法测定压痕面积,因此避免了测量和材料弹性恢复引入的误差.本文阐述了它的实验原理、硬度及弹性模量的计算方法并列举了它在材料科学中的应用.
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