合成了液态碳硅烷并对其结构进行了分析,以液态碳硅烷为先驱体在900 ℃、低压的条件下采用化学气相沉积工艺制备了SiC涂层.实验结果表明,液态碳硅烷是以Si-C键为主链的数种低分子聚合物的混合物,分子组成中不含氧和腐蚀性元素,可通过分馏得到具有合适沸点的先驱体.涂层表面光滑且质硬,沉积产物为较纯的部分结晶的β-SiC.
参考文献
| [1] | 张琦,侯蓝田,李葵英,周桂耀.碳化硅内膜空芯传能光纤的研究[J].材料科学与工艺,2003(02):132-135. |
| [2] | 王学华,薛亦渝.薄膜制备新技术及其应用研究[J].真空电子技术,2003(05):65-70. |
| [3] | 韩杰才,张宇民,赫晓东.大尺寸轻型SiC光学反射镜研究进展[J].宇航学报,2001(06):124-132. |
| [4] | 詹永玲,杨银堂.SiC器件与电路的若干关键技术[J].微电子学,2001(04):233-238,251. |
| [5] | CHRISTOPHER K;WHITMARSH;LEONARD V .Interrante.Carbosilane Polymer Precursors to Silicon Carbide Ceramics[P].US 5153295,1992-10-06. |
| [6] | 刘荣军,周新贵,张长瑞,曹英斌.CVD法制备SiC先进陶瓷材料研究进展[J].材料工程,2002(07):46-插1. |
| [7] | 程祥珍,宋永才,谢征芳,肖加余.液态聚硅烷高温高压合成聚碳硅烷工艺研究[J].国防科技大学学报,2004(04):62-67. |
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