声光调Q Nd:YAG激光对硅划片的研究

1.清华大学机械工程系,北京

2.清华大学机械工程系,北京

3.清华大学机械工程系,北京

4.澳门大学科技学院,澳门

Study on Laser Scribing of Silicon Wafer with a Q-switched Nd:YAG Laser

研究了利用调Q Nd:YAG 激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系.还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的能量密度阈值.

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