化学气相沉积钨涂层及抗烧蚀性能研究

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Study on CVD for Tungsten Coating and Capability of its Anti-ablation

利用X射线荧光能谱仪、扫描电镜及其能谱仪和显微硬度计等方法对CVD法制备的钨涂层进行了成分、显微组织分析,并测试了其显微硬度以及抗烧蚀性能.研究结果表明,采用化学气相沉积法,能在炮钢基体上制备致密均匀的高纯钨涂层,其纯度大于99.9%,并且钨涂层具有典型的柱状晶体结构,同时具有良好的抗烧蚀性能.

[1]	李荣久.陶瓷-金属复合材料[M].北京:冶金工业出版社,2002
[2]	李汉广.氟化物CVD法直接制取特纯高致密异型钨制品[J].稀有金属材料与工程,1994(06):74-77.
[3]	T S Sudarshun;范玉殿.表面改性技术工程师指南[M].北京:清华大学出版社,1992:150.

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