激光微加工对陶瓷表面化学镀铜的影响研究

1.中国科学研究院福建物质结构研究所,福建,福州,350002;中国科学研究院研究生院,北京,100039

2.中国科学研究院福建物质结构研究所,福建,福州,350002

3.中国科学研究院福建物质结构研究所,福建,福州,350002

4.中国科学研究院福建物质结构研究所,福建,福州,350002

Effect of Laser Micro- Processing on Electroless Plating of Copper on Ceramics

采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子谱(XPS)、X射线衍射能谱仪(XRD)等手段比较激光微加工处理前后陶瓷表面形貌发生的变化,探讨了激光微处理在陶瓷表面无敏化活化化学镀铜工艺中的作用.结果表明,陶瓷基底经激光处理后,其表面成分并未发生改变,但其表面活性增强,从而促进了化学镀铜反应的进行.

[1]	Natividad E;Lataste E;Lahaye M et al.Chemical and morphological study of the sensitization,activation and Cu electroless plating of Al2O3 polcrystalline substrate[J].Surface Science,2004,557:129-143.
[2]	赵雄超;郭琦龙;辜志俊.陶瓷基底微细镀覆Cu新技术研究[A].上海,2003:G25.
[3]	辜志俊,赵雄超,郭琦龙,洪艳萍,邓群山,陈人欢.陶瓷微细镀覆新技术的研究[J].电化学,2005(01):42-45.
[4]	续振林,郭琦龙,沈艺程,赵雄超,洪艳萍,辜志俊.陶瓷表面无敏化活化法微细化学镀铜[J].电化学,2005(02):193-198.
[5]	Zhang J Y;Boyd I W;Esrom H .Excimer laser-induced surface activation of alumina for electroless metal deposition[J].Applied Sueface Science,1997,109-110:253-258.
[6]	Shafeev GA. .Laser-assisted activation of dielectrics for electroless metal plating[J].Applied physics, A. Materials science & processing,1998(3):303-311.
[7]	武颖娜,梁勇,冯钟潮.Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术[J].激光杂志,2000(05):43-44.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分