多弧离子镀TiN涂层拉应力的探讨

1.武汉汽车工业大学材料科学与工程系,湖北,武汉,430070

2.武汉汽车工业大学材料科学与工程系,湖北,武汉,430070

3.武汉汽车工业大学材料科学与工程系,湖北,武汉,430070

4.武汉汽车工业大学材料科学与工程系,湖北,武汉,430070

5.武汉铜材厂,湖北,武汉

基金项目: 湖北省科研项目(96J201)

Internal Tension Stresses of TiN Coating in Multi-Arc Plating

多弧离子镀TiN涂层有着广泛的应用,但拉应力的存在影响了它的使用性能.本文对影响涂层拉应力的因素及产生原因进行了分析,并从基体材料的沉积工艺等方面提出了一些减小拉应力、提高涂层使用性能的方法.

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