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研究了油基金刚石悬浮液用作磁头抛光材料的抛光性能,用原子力显微镜和扫描电子显微镜观察了磁头抛光后的表面结果表明,纳米金刚石是一种理想的抛光材料,用于超高精度表面加工,其表面抛光质量要明显优于单用国外同类金刚石悬浮液抛光磁头的质量,纳米颗粒的作用十分明显,证实了纳米材料可用超精抛光材料.

参考文献

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