Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性

人工晶体学报, 2006, 35(2): 302-305. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.022

Al2O3衬底上生长ZnO薄膜的结构和光学特性

汪洪 ^1, , 苏凤莲 ^2, , 宋学平 ^3, , 刘艳美 ^4, , 李爱侠 ^5, , 周圣明 ^6, , 孙兆奇 ^7,

1.安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039

2.安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039

3.安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039

4.安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039

5.安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039

6.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

7.安徽大学物理与材料科学学院,安徽省信息材料与器件重点实验室,合肥,230039

基金项目: 安徽省高校学术和技术带头人后备人选科研项目安徽省优秀青年科技基金(00047208)

关键词： ZnO薄膜 , 脉冲激光沉积 , X射线衍射 , 光致发光谱

Structural and Optical Properties of ZnO Films on Al2O3 Substrates

用脉冲激光沉积法在Al2O3(0001)衬底上沉积了ZnO薄膜.衬底温度分别为300℃、400℃、500℃、600℃和700℃.利用X射线衍射(XRD)和光致发光谱(PL)对薄膜的结构和光学性能进行研究.X射线衍射的结果表明在不同温度下生长的ZnO薄膜均具有高度c轴择优取向,衬底温度400℃时,膜的应力较小质量较高.ZnO薄膜有很强的紫外发光峰,紫外发光峰的强度与衬底温度密切相关,并发现当衬底温度从300℃增到400℃时,紫外发射峰出现6nm的蓝移.

参考文献

[1]	Tang ZK.;Yu P.;Kawasaki M.;Ohtomo A.;Koinuma H.;Segawa Y.;Wong GKL. .Room-temperature ultraviolet laser emission from self-assembled ZnO microcrystallite thin films[J].Applied physics letters,1998(25):3270-3272.
[2]	王卿璞,张德恒,薛忠营.射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光[J].半导体学报,2003(02):157-161.
[3]	张德恒,王卿璞,薛忠营.不同衬底上的ZnO薄膜紫外光致发光[J].物理学报,2003(06):1484-1487.
[4]	Jin B J;Bae S H;Lee S Y et al.Effects of Native Defects on Optical and Electrical Properties of ZnO Prepared by Pulsed Laser Deposition[J].Materials Science and Engineering,2000,B71:301.
[5]	Chopra K L;Major S;Pandya D K .Transparent Conductors-a Status Review[J].Thin Solid Films,1983,102:1-46.
[6]	Kyoung-Kook Kim;Nobuyuki Koguchi et al.Fabrication of ZnO Quantum Dots Embedded in an Amorphous Oxide Layer[J].Applied Physics Letters,2004,84(19):3810-3812.
[7]	李伙全,宁兆元,程珊华,江美福.射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移[J].物理学报,2004(03):867-870.

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